| 摘要 |
【課題】線材の表面に付着した洗浄液では除去できない汚れを、長期間にわたって高速で研磨除去できる表面研磨装置を提供する。【解決手段】装置本体Ｂの入口側には、液体ＬをパスラインＣに圧入するジェット流通過間隙６ａが設けられ、出口側には、液体を圧入するジェット流通過間隙６ｂが設けられ、ジェット流通過間隙の下流には研磨液Ｈをパスラインに供給する入口側研磨液流入孔７ａが設けられ、ジェット流通過間隙の上流には研磨液をパスラインに供給する出口側研磨液流入孔７ｂが設けられ、入口側研磨液流入孔と出口側研磨液流入孔の間にはパスラインを通過した研磨液を排出する研磨液排出部８が設けられ、入口側研磨液流入孔と研磨液排出部との間及び出口側研磨液流入孔と研磨液排出部との間にはパスラインを取り巻くように開口した乱流形成空間Ｒが形成されている。【選択図】図１ |
