| 发明名称 | 基板转移装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板转移装置，所述基板转移装置包含：托盘，基板安装在所述托盘上；磁性转移部分，其安置在所述托盘下方，磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁力转移所述托盘；导引单元，其导引所述托盘的转移而不接触所述托盘；以及间隙维持构件，其设在所述磁性转移部分与所述导引单元之间的至少一个区域上。 | ||
| 申请公布号 | CN105993068A | 申请公布日期 | 2016.10.05 |
| 申请号 | CN201580003423.1 | 申请日期 | 2015.11.26 |
| 申请人 | ULVAC韩国股份有限公司 | 发明人 | 金正健;金善吉;金南训;金锺大;高元一;苏秉镐;孙承京;李起泰;李尚浩;千敏镐;韩应龙 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 杨贝贝;臧建明 |
| 主权项 | 一种基板转移装置，包括：托盘，基板安装在所述托盘上；磁性转移单元，其安置在所述托盘下方，并经组态以磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁力转移所述托盘；以及导引单元，其经组态以导引所述托盘的所述转移而不接触所述托盘。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道平泽市靑北面闲山路5 | ||