发明名称 |
一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法 |
摘要 |
本发明涉及一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法,包括依次进行的如下步骤:将高纯钴靶材坯料和背板的表面分别进行机械加工;将机械加工后的高纯钴靶材坯料和背板用有机清洗溶剂清洗;将清洗后的高纯钴靶材坯料和背板采用热压炉在压力为50~160 MPa、温度为300~400℃、热压行程为8~12mm的条件下进行扩散焊3~5小时,然后进行冷却、卸压;将处理后的工件进行机械加工,得到有6061铝合金背板的高纯钴靶材组件。本发明采用热压炉扩散焊接,使得造价降低;此外,高纯钴靶材坯料与6061铝合金背板之间的结合率可以达到99%以上,且结合强度高,结合后弯曲变形小,对靶材组件的总体性能没有明显影响。 |
申请公布号 |
CN103894720B |
申请公布日期 |
2016.10.05 |
申请号 |
CN201410152676.2 |
申请日期 |
2014.04.16 |
申请人 |
昆山海普电子材料有限公司 |
发明人 |
邵玲;王广欣;赵学义 |
分类号 |
B23K20/00(2006.01)I;B23K20/24(2006.01)I |
主分类号 |
B23K20/00(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
孙仿卫;汪青 |
主权项 |
一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法,其特征在于:包括依次进行的如下步骤:(1)、将高纯钴靶材坯料和背板的表面分别进行机械加工,机械加工后所述的高纯钴靶材坯料和背板的表面的粗糙度Ra为0.8~1.6μm,其中,所述的背板的材质为6061铝合金,所述的高纯钴靶材坯料的面积小于所述的背板的面积;所述的高纯钴靶材坯料的纯度为99.999%以上,厚度为5.5~6mm;(2)、将步骤(1)机械加工后的高纯钴靶材坯料和背板用有机清洗溶剂清洗;(3)、将步骤(2)清洗后的高纯钴靶材坯料和背板依次放在热压炉的底座上,并将所述的高纯钴靶材坯料和背板对中、定位;下移下压头,然后在压力为100~160 MPa、温度为300~400℃、热压行程为8~12mm的条件下进行扩散焊3~5小时,然后进行冷却、卸压;(4)、将步骤(3)处理后的工件进行机械加工,得到有6061铝合金背板的高纯钴靶材组件,所述的有6061铝合金背板的高纯钴靶材组件中钴靶材的厚度为4.5~5.5mm。 |
地址 |
215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇学院路828号浦东软件园2栋12A |