发明名称 膜吸收制备超净高纯硫酸的方法及所用装置
摘要 本发明公开了一种用于制备超净高纯硫酸的膜吸收装置,包括用于装液态三氧化硫的槽罐、脱除装置、膜吸收器、尾气回收装置、冷却器、低浓度硫酸贮槽、超净高纯硫酸贮槽和过滤装置。本发明还同时公开了利用上述装置进行的膜吸收制备超净高纯硫酸的方法:将液态三氧化硫汽化成三氧化硫气体后,首先在脱除装置内对三氧化硫气体采用聚四氟乙烯微孔膜法脱除三氧化硫气体的颗粒与杂质;然后采用高纯聚四氟乙烯(PTFE)膜吸收器对除颗粒与杂质后的三氧化硫气体进行吸收,以制备超净高纯硫酸。本发明采用膜吸收方法,其目的可以去除SO<sub>3</sub>气体中颗粒和部分油,可获得更纯的硫酸。
申请公布号 CN104843653B 申请公布日期 2016.10.05
申请号 CN201510143568.3 申请日期 2015.03.30
申请人 浙江建业化工股份有限公司;华东理工大学;浙江建业微电子材料有限公司 发明人 许振良;冯烈;陈云斌;魏永明;刘询;马晓华;王爱艳
分类号 C01B17/90(2006.01)I 主分类号 C01B17/90(2006.01)I
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人 金祺
主权项 用于制备超净高纯硫酸的膜吸收装置,其特征是:包括用于装液态三氧化硫的槽罐(1)、脱除装置(2)、膜吸收器(3)、尾气回收装置(4)、冷却器(5)、低浓度硫酸贮槽(6)、超净高纯硫酸贮槽(7)和过滤装置;低浓度硫酸贮槽(6)上设置带有阀的去离子水补充进口,超净高纯硫酸贮槽(7)上设置带有阀的去离子水补充进口;冷却器(5)上分别设置有冷却水进口、冷却水出口、管路进口和管路出口,该冷却水进口、冷却水出口上分别设有控制阀;脱除装置(2)的空腔内设置孔径为50~500nm的聚四氟乙烯微孔膜,脱除装置(2)的进口和出口分别位于该聚四氟乙烯微孔膜的两侧;膜吸收器(3)的内腔中设有孔径50~500nm的聚四氟乙烯微孔膜,从而将膜吸收器(3)的内腔分隔成相对独立的2个空腔——空腔Ⅰ和空腔Ⅱ,空腔Ⅰ的两端分别设置三氧化硫气体进口(31)和三氧化硫尾气出口(32);空腔Ⅱ的两端分别设置低浓度硫酸进口(33)和高浓度硫酸出口(34);槽罐(1)的出口与脱除装置(2)的进口相连;脱除装置(2)的出口与膜吸收器(3)的三氧化硫气体进口(31)相连,三氧化硫尾气出口(32)与尾气回收装置(4)相连;膜吸收器(3)的高浓度硫酸出口(34)分成以下两路:一路为:通过阀与低浓度硫酸贮槽(6)的进口相连,低浓度硫酸贮槽(6)的出口通过阀、压力泵与冷却器(5)的管路进口相连,冷却器(5)的管路出口与膜吸收器(3)的低浓度硫酸进口(33)相连;另一路为:通过阀与超净高纯硫酸贮槽(7)的进口相连,超净高纯硫酸贮槽(7)的出口通过阀、压力泵与过滤装置相连。
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