基板处理装置和基板处理方法

摘要

本发明提供一种能够减少占地面积并且能够获得高生产量的基板处理装置。本发明的位于载置块和端块之间的中间块，其包括：相互层叠设置的多个第一处理模块，其用于分别仅对从载置块取出并送往端块的基板和从端块返回载置块的基板中的一者进行处理；进行升降的第一基板搬送机构，其用于将从载置块和端块中的一者搬送到了该中间块的基板搬送到各第一处理模块，并交接给载置块和端块中的另一者；和以绕过第一处理模块的方式从载置块和上述端块中的另一者向一者搬送基板的第二基板搬送机构。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，包括：用于将收纳于载置体的基板取出的载置块；使从该载置块取出的基板返回到该载置块，相对于所述载置块横向设置的端块；和位于所述载置块与所述端块之间的中间块，所述中间块包括：相互层叠设置的多个第一处理模块，其用于分别仅对从所述载置块取出并送往所述端块的所述基板和从所述端块返回所述载置块的所述基板中的一者进行处理；进行升降的第一基板搬送机构，其用于将从所述载置块和所述端块中的一者搬送到了该中间块的所述基板搬送到所述各第一处理模块，并交接给所述载置块和端块中的另一者；和与所述第一基板搬送机构另行设置的第二基板搬送机构，其以绕过所述第一处理模块的方式从所述载置块和所述端块中的另一者向一者搬送基板。