修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器

摘要

提供一种修正装置、修正方法、程序以及静电电容式压力传感器，能够对与负载的变化相对的最大值的特性为非线性的迟滞误差进行修正。具有：确定部，确定外加负载增加时的极限负载F_X；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载F_X、生成使极限负载F_X变化了时的迟滞的最大值的第一函数f_PEAK(F_X)、以及生成外加了静电电容式压力传感器的额定负载F_MAX时的迟滞的第二函数f_HYS(F_N/F_X×F_MAX)来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值；修正部，使用该修正值，修正外加负载减少时实际读取的静电电容。

主权项

一种修正装置，是对静电电容式压力传感器的输出进行修正的修正装置，该静电电容式压力传感器是根据外加负载的最大极限负载，外加负载增加时和减少时的静电电容的读数值的差即迟滞发生变化的传感器，上述修正装置具有：确定部，确定上述外加负载增加时的极限负载；修正值生成部，基于由上述确定部确定的极限负载、第一函数、以及第二函数来生成负载减少时实际读取的静电电容的修正值，上述第一函数是生成使上述极限负载发生了变化时的上述迟滞的最大值的函数，上述第二函数是基于外加了上述静电电容式压力传感器的额定负载时的迟滞来生成根据上述极限负载而决定的上述外加负载的迟滞的函数；以及修正部，使用由上述修正值生成部生成的修正值，修正上述外加负载减少时实际读取的静电电容。