发明名称 包括金刚石层以及金刚石和碳化硅以及任选的硅的复合层的基板
摘要 多层基板包括在复合层上CVD生长的金刚石层。该复合层包括金刚石和碳化硅与任选的硅的颗粒。该复合层中的金刚石的载荷水平(按体积计)可为≥5%、≥20%、≥40%、或≥60%。该多层基板能够用作光学器件;用于检测辐射粒子或电磁波的检测器;用于切割、钻孔、机械加工、碾磨、研磨、抛光、涂布、粘结、或钎焊的装置;制动装置;密封条;导热体;电磁波导体;在升高的温度下或在低温条件下用于腐蚀性环境、强氧化性环境、或强还原性环境的化学惰性装置;或用于抛光或平坦化其它器件、晶圆或膜的装置。
申请公布号 CN105992835A 申请公布日期 2016.10.05
申请号 CN201580005770.8 申请日期 2015.01.21
申请人 II-VI有限公司 发明人 W-Q·许;埃尔金·E·伊斯勒;C·刘;查尓斯·D·坦纳;查尓斯·J·克莱辛格尔;迈克尔·阿格哈亚尼安
分类号 C23C16/27(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I;C01B31/06(2006.01)I;C04B41/50(2006.01)I 主分类号 C23C16/27(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 王静;丁业平
主权项 一种多层基板,包括:包含金刚石颗粒和碳化硅颗粒的复合层;以及位于所述复合层上的化学气相沉积(CVD)生长的金刚石层,其中所述金刚石层的金刚石通过CVD生长于构成所述复合层的所述金刚石颗粒和/或所述碳化硅颗粒的晶体表面上。
地址 美国宾夕法尼亚州