一种制备超高纯镍铂合金靶材的方法

摘要

本发明公开了一种制备超高纯镍铂合金靶材的方法。制备方法包括高纯预合金粉制备，合金的熔炼，采用区域熔炼对熔体的净化，机械轧制及热处理对晶粒尺寸的控制，本发明高纯镍铂合金粉末采用纯度大于等于99.995％的氯铂酸氨和纯度大于等于99.99％的氯化镍为原料，先通过气体雾化法制备得到氯铂酸氨和氯化镍的复合颗粒，再采用通氢还原法得到高纯镍铂预合金粉末，然后真空感应熔炼得到镍铂母合金，最后采用区域熔炼法将镍铂母合金锭提纯得到超高纯镍铂合金。本发明制备得到的超高纯镍铂靶材,该靶材的碱金属离子(Na、K)、放射性元素(U、Th)的含量较低，而且其它金属杂质、氧含量及晶粒尺寸较现有公开文献有明显改善。

主权项

一种超高纯镍铂合金靶材，其特征在于：所述的镍铂合金纯度大于等于99.995％，Na含量＜0.1ppm、K含量＜0.2ppm、U含量＜0.5ppm、Th含量＜0.5ppm、Si含量＜0.5ppm、B含量＜0.1ppm、Ca含量＜0.01ppm、Al含量＜0.1ppm，氧含量低于50ppm，晶粒尺寸小于80微米。