发明名称 一种均热板吸液芯自动化生产装置及方法
摘要 本发明公开了一种均热板吸液芯自动化生产装置及方法,包括用于将图样打印至热转印纸的图样打印装置;用于将铜板准确地导入热转印装置的铜板导入装置;用于将热转印纸上的图样转印至铜板的热转印装置;用于均匀喷涂液态光致抗蚀剂至铜板另一面及侧面的喷涂装置;用于喷涂有液态光致抗蚀剂铜板的加热干燥和固化的干燥固化装置;用于待腐蚀铜板的腐蚀的腐蚀装置。可用于均热板快速和大批量,实现自动化生产。采用热转印将所需的图样转印至铜板毛坯上,并喷涂液态光致抗蚀剂至铜板另一面及侧面,经红外加热干燥和紫外投射固化后形成抗腐蚀模,得到待腐蚀铜板,待腐蚀铜板经腐蚀液腐蚀一定时间并经脱模处理和积碳物清洗处理即可得到吸液芯。
申请公布号 CN104457357B 申请公布日期 2016.10.05
申请号 CN201410709686.1 申请日期 2014.11.28
申请人 华南理工大学 发明人 刘旺玉;刘彬;彭毅
分类号 F28D15/04(2006.01)I 主分类号 F28D15/04(2006.01)I
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人 罗观祥
主权项 一种均热板吸液芯自动化生产装置,其特征在于包括:用于将图样打印至热转印纸的图样打印装置;用于将铜板准确地导入热转印装置的铜板导入装置;用于将热转印纸上的图样转印至铜板的热转印装置;用于均匀喷涂液态光致抗蚀剂至铜板另一面及侧面的喷涂装置;用于喷涂有液态光致抗蚀剂铜板的加热干燥和固化的干燥固化装置;用于待腐蚀铜板的腐蚀的腐蚀装置;所述图样打印装置包括依次连接的计算机(1)、激光打印机(2)和热转印纸(3);所述的铜板导入装置包括第一铜板输送机(4)、限位板(18)和推杆机(5);所述热转印装置包括用于图样热转印的热转印机(6);热转印机(6)具有上下两组胶辊;上下两组胶辊,其中,上组两个胶辊能同时上下移动,下组两个胶辊固定原地滚动,胶辊的加热方式采用红外加热,热转印机(6)入口的两个胶辊为受热胶辊;所述喷涂装置包括第二铜板输送机(9)、第三铜板输送机(11)、无气喷涂设备(12)和清洗干燥装置(13);所述第二铜板输送机(9)与第三铜板输送机(11)之间有一铜板翻转机(10),实现铜板的翻转;所述干燥固化装置包括第四铜板输送机(16),和置于第四铜板输送机(16)的紫外固化灯(14)和红外加热干燥灯(15);所述腐蚀装置为腐蚀池(17),该腐蚀池内的腐蚀液为三氯化铁溶液,或者盐酸与双氧水混合溶液。
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