氦气的提纯方法以及提纯系统

摘要

氦气的提纯方法以及提纯系统在利用小规模设备将氦气提纯至高纯度时提高回收率。在压力变动吸附装置(1)的吸附塔(2a、2b、2c、2d)中，依次执行吸附、分离、升压工序，将原料氦气中包含的杂质气体吸附于吸附剂。在利用吸附工序后、分离工序前的吸附塔执行传送内部气体的第1气体传送工序的同时，利用分离工序后、升压工序前的吸附塔执行将传送出的气体导入的第1气体导入工序。在利用第1气体传送工序后、分离工序前的吸附塔执行传送内部气体的第2气体传送工序的同时，利用分离工序后、第1气体导入工序前的吸附塔执行将传送出的气体导入的第2气体导入工序。利用真空泵将分离工序的吸附塔的内部减压至低于大气压。

主权项

一种氦气的提纯方法，其特征在于，在利用具有多个吸附塔的压力变动吸附装置对包含杂质气体的原料氦气进行提纯时，在各所述吸附塔中收纳有优先于氦气而吸附杂质气体的吸附剂，向各所述吸附塔依次导入所述原料氦气，在各所述吸附塔中，依次执行吸附工序、分离工序及升压工序，该吸附工序中使所导入的所述原料氦气中包含的杂质气体在加压下被所述吸附剂吸附，并将未被所述吸附剂吸附的提纯氦气排出，该分离工序中从所述吸附剂中分离出杂质气体并将其作为废气排出，该升压工序中使内部压力上升，在执行从处于所述吸附工序后、所述分离工序前的状态下的所述吸附塔的任一个中传送出内部气体的第1气体传送工序的同时，执行将该传送出的内部气体导入至处于所述分离工序后、所述升压工序前的状态下的所述吸附塔的另一个中的第1气体导入工序，在执行从处于所述第1气体传送工序后、所述分离工序前的状态下的所述吸附塔的任一个中传送出内部气体的第2气体传送工序的同时，执行将该传送出的内部气体导入至处于所述分离工序后、所述第1气体导入工序前的状态下的所述吸附塔的另一个中的第2气体导入工序，在所述分离工序中，利用真空泵将所述吸附塔的内部减压至低于大气压。