发明名称 METHOD FOR CORRECTING MEASUREMENT ERROR AND DEVICE FOR MEASURING ELECTRONIC COMPONENT CHARACTERISTICS
摘要 측정 지그에 의해 측정값에 차이가 생기는 3개의 요인(전송로의 차이, 직달파의 차이, 비전송로의 차이)을 고려하여 측정 지그 간의 측정값 차를 높은 정밀도로 보정한다. 고주파 신호의 인가 또는 검출에 관계되는 신호 라인 포트와 신호 라인 포트 이외의 비신호 라인 포트로부터 선택된 2개의 포트 간 모두에서 포트 간을 직접 전달하는 누설 신호의 존재를 상정하여 도출된 상대오차 보정 회로망 모델(38)의 모든 계수에 대해, 예상되는 값을 최우법에 의해 산출한다. 초기값으로 하여, 신호 라인 포트만으로부터 선택된 2개의 포트 간 모두에서 포트 간을 직접 전달하는 누설 신호의 존재를 상정하여 도출된 제1 상대오차 보정 회로망 서브모델의 계수와, 비신호 라인 포트에서 반사하는 신호의 존재를 상정하여 도출된 제2 상대오차 보정 회로망 서브모델의 비신호 라인 포트에 대한 계수를 이용한다.
申请公布号 KR20160114681(A) 申请公布日期 2016.10.05
申请号 KR20167023710 申请日期 2015.02.17
申请人 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 MORI TAICHI;KAGEYAMA SATOSHI
分类号 G01R27/28;G01R35/00 主分类号 G01R27/28
代理机构 代理人
主权项
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