| 发明名称 | 具有同心或大致同心多边形槽图案的抛光垫 | ||
| 摘要 | 描述了具有同心或大致同心的多边形槽图案的抛光垫。还描述了制造具有同心或大致同心的多边形槽图案的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN103429389B | 申请公布日期 | 2016.10.05 |
| 申请号 | CN201280013062.5 | 申请日期 | 2012.01.19 |
| 申请人 | 内克斯普拉纳公司 | 发明人 | W·C·阿里森;D·斯科特;A·W·辛普森 |
| 分类号 | B24B37/26(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 殷玲;吴鹏 |
| 主权项 | 一种用于抛光衬底的抛光垫，所述抛光垫包括：具有抛光表面和背面的抛光主体，所述抛光表面具有包括同心或大致同心的多边形的槽图案，所述槽图案不具有从最内部多边形到最外部多边形的连续的径向槽，其中，每个多边形的所有内角大于90度。 | ||
| 地址 | 美国俄勒冈州 | ||