一种选择性发射极镓铟砷锑热光伏电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种选择性发射极镓铟砷锑热光伏电池及其制备方法，包括液相外延制备GaInAsSb层、两步锌扩散法制备选择性发射极、蒸发法制备电极等步骤；在两步锌扩散法制备发射极的过程中，第一次锌扩散过程采用Zn‑Ga‑In合金为扩散源进行浅扩散，生成单扩散前沿锌曲线，其扩散区域95%以上锌浓度低于10¹⁹cm^‑3，第二次锌扩散过程采用Zn‑As‑Sb合金为扩散源对电极区域进行深扩散，生成双扩散前沿锌曲线，其扩散区域40%以上锌浓度大于10¹⁹cm^‑3；采用本发明制备出的GaInAsSb电池在500~2200nm波段范围内的平均内量子效率达90%以上，并且由于电池表层具有高度稳定的锌扩散曲线，可省略传统选择性发射极制备过程中难以控制的百纳米级的精确腐蚀过程，使得不同批次生产出的GaInAsSb电池具有高度稳定的电学输出性能。

主权项

一种选择性发射极镓铟砷锑热光伏电池的制备方法，包括以下步骤：通过液相外延制备制备GaInAsSb薄膜层；通过两步锌扩散法制备选择性发射极；通过蒸发法制备电极；其特征在于，通过两步锌扩散法制备选择性发射极的过程中，第一次锌扩散过程采用Zn‑Ga‑In合金为扩散源进行浅扩散，生成的第一扩散层（3）的锌扩散曲线为单扩散前沿型曲线，第二次锌扩散过程采用Zn‑As‑Sb合金为扩散源对上电极下方区域进行深扩散，生成的第二扩散层（5）的锌扩散曲线为双扩散前沿型曲线。