一种透明导电电极加工装置

摘要

本实用新型公开了一种透明导电电极加工装置，包括模板体，所述模板体上设置有密封环、接触件和通气孔，所述密封环和接触件固定在模板体靠近透明导电材料的一侧，所述接触件位于密封环内，所述密封环和接触件之间形成非接触腔，所述通气孔设置在模板体非接触腔处，所述通气孔为两个以上。本实用新型中模板体可以与透明导电材料充分接触，非接触腔在透明导电材料表面形成反应区域，为反应气体与导电层反应提供空间，通过反应使导电层中部分导电材料转化为不导电材料，从而得到图案化的电极，并且导电区域和非导电区域光学性能差异极低，能够实现完全消影蚀刻，在实际应用中效果显著，且采用本实用新型制备透明导电电极流程简单，制备成本低。

主权项

一种透明导电电极加工装置，其特征在于，包括模板体，所述模板体上设置有密封环、接触件和通气孔，所述密封环和接触件固定在模板体靠近透明导电材料的一侧，所述接触件位于密封环内，所述密封环和接触件之间形成非接触腔，所述通气孔设置在模板体非接触腔处，所述通气孔为两个以上。