泵装置以及其控制方法

摘要

本发明提供一种能够不依赖外部空气温度而稳定控制吐出流量的泵装置以及其控制方法。上述泵装置的控制方法包括:输出用使吐出口吐出标准流量的气体的转动速度来驱动马达的驱动信号；通过安装于所述泵主体上的温度传感器测定由所述吐出口吐出的气体的温度或者所述泵主体的温度；基于所述温度传感器的输出信号所包含的与所述气体的温度相关的温度信号运算出由所述吐出口吐出的气体的实际流量；校正所述驱动信号，并将校正后的驱动信号输出给所述马达，以使所述实际流量与所述标准流量一致。

主权项

一种泵装置，具有泵主体、温度传感器、控制器，其中，所述泵主体具有吸入口、吐出口、泵室、可动部件、驱动部，其中，所述泵室能够与所述吸入口以及所述吐出口分别连通，所述可动部件交替进行所述泵室的吸气和排气，所述驱动部包括马达，该马达驱动所述可动部件，并能够根据转动速度使由所述吐出口吐出的气体的流量发生变化，所述温度传感器安装于所述泵主体上，通过测定由所述吐出口吐出的气体的温度或者所述泵主体的温度，来输出与所述气体温度相关的温度信号，所述控制器具有：输入部、运算部、输出部，其中，所述输入部被输入用于指定由所述吐出口吐出的所述气体的标准流量的外部信号，所述运算部基于所述温度信号运算出由所述吐出口吐出的所述气体的实际流量，所述输出部输出用于校正所述马达的转动速度的校正信号，以使所述实际流量与所述标准流量一致，其特征在于，还具有第1阀、第2阀、第3阀，其中，所述第1阀安装于所述吸入口与所述泵室之间，容许气体由所述吸入口向所述泵室流动，所述第2阀安装于所述泵室与所述吐出口之间，在所述泵室的气体的压力在第1压力以上的情况下，容许所述气体由所述泵室向所述吐出口流动，所述第3阀安装于所述泵主体，在所述吸入口与所述吐出口之间的气体的压力在大于所述第1压力的第2压力以下的情况下，限制所述气体由所述吸入口向所述吐出口流动。