一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法

摘要

一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法，包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统；所述电源模块与所述整流滤波模块连接；其中，IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口，整流滤波模块连接IGBT模块的输入端口，PWM信号驱动模块连接IGBT控制端口，通过计算机控制系统控制PWM信号驱动模块，用于控制IGBT导通与关闭时间，从而调节加热灯管的加热功率；加热灯管组连接到IGBT输出端口，用于装置加热。本发明提供的一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法，可以有效地抑制了在快速升温过程中出现的过冲现象，实现稳定升温，同时避免频闪带来加热的不稳定性，实现延长灯管使用寿命的目的。

主权项

一种用于半导体快速退火的加热装置，其特征在于，包括电源模块(10)、整流滤波模块(20)、IGBT模块(40)、PWM信号驱动模块(30)、计算机控制系统(60)和加热灯管组(50)；所述电源模块(10)连接所述整流滤波模块(20)；所述IGBT模块(40)包含输入端口(41)、驱动信号控制端口(42)和以及与IGBT输入端口对应的输出端口(43)，所述整流滤波模块(20)连接所述IGBT输入端口(41)，所述整流滤波模块(20)输出直流电为所述IGBT模块(40)供电；所述计算机控制系统(60)通过PWM信号驱动模块(30)控制PWM信号占空比值；所述PWM信号驱动模块(30)连接所述驱动信号控制端口(42)，用于输出PWM信号控制所述IGBT模块(40)导通和关闭时间，进而调节所述加热灯管组(50)辐射功率；所述加热灯管组(50)与所述IGBT输入端口对应的输出端口(43)连接，用于发热。