薄膜压电体元件及其制造方法、和具有薄膜压电体元件的磁头折片组合、和其他零部件

摘要

本发明提供一种薄膜压电体元件，其具有依次层压有下部电极膜、压电体膜以及上部电极膜的层压结构。压电体膜的上表面为具有凸部和凹部的凹凸面，凸部为突出成凸状的弯曲面，并且凹部为凹陷成凹状的弯曲面，在凹凸面上形成有上部电极膜。薄膜压电体元件具有应力均化膜，该应力均化膜采用具备能够抵消元件应力的内部应力的材料形成，且形成于上部电极膜上。根据本发明，即使为单层的压电层压体，也能充分抑制翘曲和弯曲变位，并且能够在不损害批量生产性和成本降低效果的同时制造提高了薄膜之间的粘合性的薄膜压电体元件。

主权项

一种薄膜压电体元件，其具有依次层压有下部电极膜、压电体膜以及上部电极膜的层压结构，其中，所述压电体膜中的所述上部电极膜侧的上表面为具有凸部和凹部的凹凸面，该凸部为从该凹凸面的高度方向的中心面突出成凸状的弯曲面，并且该凹部为从该中心面凹陷成凹状的且与该凸部连接的弯曲面；该凹凸面上形成有所述上部电极膜；所述薄膜压电体元件具有具备能够抵消元件应力的内部应力的应力均化膜，该元件应力为所述下部电极膜、压电体膜以及上部电极膜在从所述上部电极膜朝向所述下部电极膜的方向上翘曲成凸状的元件应力，该应力均化膜形成于所述上部电极膜上以确保该元件应力与该内部应力之间的均衡。