发明名称 一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感
摘要 本发明公开了一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,属于微电感器件技术领域。该电感包括薄膜磁芯和线圈,所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜,其中:所述薄膜磁芯作为线圈的内芯,即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外;或者,所述薄膜磁芯作为外芯,即线圈包裹于薄膜磁芯之内。本发明通过调整磁芯材料铁、镍、磷、稀土多元合金的成分与制备工艺,可实现各向异性、矫顽力小、电阻率高、磁感应强度高的性能,从而使电感器的损耗减少、工作频率和品质因子提高,在微电子器件领域有良好的适用性。
申请公布号 CN105990321A 申请公布日期 2016.10.05
申请号 CN201510061511.9 申请日期 2015.02.05
申请人 中国科学院金属研究所 发明人 刘志权;高丽茵
分类号 H01L23/64(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01F37/00(2006.01)I;H01F27/24(2006.01)I 主分类号 H01L23/64(2006.01)I
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人 许宗富;周秀梅
主权项 一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征在于:该电感包括薄膜磁芯和线圈,所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜,其中:所述薄膜磁芯作为线圈的内芯,即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外;或者,所述薄膜磁芯作为外芯,即线圈包裹于薄膜磁芯之内。
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