发明名称 |
一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感 |
摘要 |
本发明公开了一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,属于微电感器件技术领域。该电感包括薄膜磁芯和线圈,所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜,其中:所述薄膜磁芯作为线圈的内芯,即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外;或者,所述薄膜磁芯作为外芯,即线圈包裹于薄膜磁芯之内。本发明通过调整磁芯材料铁、镍、磷、稀土多元合金的成分与制备工艺,可实现各向异性、矫顽力小、电阻率高、磁感应强度高的性能,从而使电感器的损耗减少、工作频率和品质因子提高,在微电子器件领域有良好的适用性。 |
申请公布号 |
CN105990321A |
申请公布日期 |
2016.10.05 |
申请号 |
CN201510061511.9 |
申请日期 |
2015.02.05 |
申请人 |
中国科学院金属研究所 |
发明人 |
刘志权;高丽茵 |
分类号 |
H01L23/64(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01F37/00(2006.01)I;H01F27/24(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/64(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 |
代理人 |
许宗富;周秀梅 |
主权项 |
一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征在于:该电感包括薄膜磁芯和线圈,所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜,其中:所述薄膜磁芯作为线圈的内芯,即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外;或者,所述薄膜磁芯作为外芯,即线圈包裹于薄膜磁芯之内。 |
地址 |
110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号 |