一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、固定反射镜、测量反射镜装置、光电探测器组，其中激光源包括n(n≥2)个平行激光束，光电探测器组包括n个光电探测器件。测量反射镜装置包括测量反射镜与精密位移装置，固定反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为λ/2n+kλ/2(k为自然数)；每束激光经分光镜后变为两束，其中一束经固定反射镜反射后从分光镜透射，到达光电探测器，同时另一束激光依次经测量反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，同时在测量过程中修正激光波长，减小环境对激光干涉测量结果的影响，显著提高了测量精度。

主权项

一种波长修正式多光束阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、固定反射镜(3)、测量反射镜装置(4)、光电探测器组(5)，其特征在于，所述测量反射镜装置(4)包括测量反射镜(7)与精密位移装置(6)，所述测量反射镜(7)设置在所述精密位移装置(6)上，所述精密位移装置(6)设置在被测物体上，所述精密位移装置(6)为所述测量反射镜(7)提供与被测物体位移同向或反向的位移，所述激光源(1)包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组(5)包括n个光电探测器件，所述固定反射镜(3)的反射面为n个成阶梯型的反射平面，相邻两个反射平面的间距等于λ/2n+kλ/2，其中k为自然数、λ为激光源(1)发出的激光波长；每个所述激光源(1)发出的激光经过所述分光镜(2)反射后，垂直射入对应一个反射平面，每个所述反射平面将对应激光束反射到对应的所述光电探测器组(5)的各个光电探测器件；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)透射后，分别垂直入射到所述测量反射镜(4)后反射到对应的光电探测器组(5)的各个光电探测器件。