| 发明名称 |
Front Opening Unified Pod |
| 摘要 |
본 발명은 웨이퍼 수납용기에 관한 것으로서, 웨이퍼 수납용기를 수납실과 가스주입실 및 가스배기실로 독립된 별개의 공간을 형성하여, 상기 웨이퍼 수납용기를 로드포트로 이송하여 상기 로드포트와 결합시, 상기 수납실 내부의 분리벽을 통해 퍼지가스를 주입 / 배기 함으로써, 효율적으로 웨이퍼의 표면에 잔존하는 퓸을 제거하는 웨이퍼 수납용기에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20160114548(A) |
申请公布日期 |
2016.10.05 |
| 申请号 |
KR20160080184 |
申请日期 |
2016.06.27 |
| 申请人 |
PICOANDTERA;WOO, BUM JE |
发明人 |
WOO, BUM JE;YOON, SEOK MUN;HAN, MYOUNG SOK;KIM, HYUN SIN |
| 分类号 |
H01L21/673;H01L21/02;H01L21/54 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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