发明名称 COMPOSITIONS CONTAINING INDIUM ALKOXIDE METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF AND USE THEREOF
摘要 본 발명은 적어도 하나의 인듐 알콕시드 및 적어도 3개의 용매 L, L및 L을 포함하고, 용매 L이 에틸 락테이트, 아니솔, 테트라히드로푸르푸릴 알콜, 부틸 아세테이트, 에틸렌 글리콜 디아세테이트 및 에틸 벤조에이트로 구성된 군에서 선택되고, 2개의 용매 L및 L의 비점 차이가 SATP 조건 하에서 적어도 30 ℃인 인듐 알콕시드를 함유하는 액체 조성물, 그의 제조 방법 및 그의 용도에 관한 것이다.
申请公布号 KR101662862(B1) 申请公布日期 2016.10.05
申请号 KR20117019053 申请日期 2010.02.05
申请人 에보니크 데구사 게엠베하 发明人 스타이거, 위르겐;팀, 하이코;메르쿠로브, 알렉세이;팜, 두이 푸;다마쉐크, 이폰네;호페, 아르네
分类号 H01L21/02;C23C18/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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