| 摘要 |
【課題】表面に凹凸部を有する対象物も適切に研磨することができる研磨ブラシを提供することを目的とする。【解決手段】本発明の研磨ブラシは、研磨層の表面に、複数の溝によって離隔された、被研磨物の表面を研磨するための複数の突起部を有する研磨ブラシであって、前記溝の容積は、研磨領域全体の体積に対して５５〜９５％であり、さらに、研磨ブラシの研磨層は、研磨ブラシの中心付近に位置する第１の領域と第１の領域を取り囲む第２の領域を含み、第１の領域では、第１の領域の研磨層の溝の底部から突起部の頂面までは第１の高さを有し、第２の領域では、第２の領域の研磨層の溝の底部から突起部の頂面までは第２の高さを有し、第１の高さと第２の高さとが異なる。【選択図】図４ |
