Verfahren zur Herstellung einer Mischung von Nanopartikeln und Körper daraus

摘要

Die Erfindung betrifft einen Körper, insbesondere eines thermoelektrischen Elementes, umfassend eine gesinterte Mischung aus Nanopartikeln wenigstens eines Halbleiterelementes oder einer Halbleiterlegierung, insbesondere von Silizium oder Germanium oder deren Legierung, insbesondere jeweils dotiert und Nanopartikeln von wenigstens einem Metall-Silizid, insbesondere einem Silizid von Wolfram oder Molybdän oder Eisen. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung einer Mischung von Nanopartikeln (5, 6), insbesondere mit einer Größe kleiner als 500 nm, insbesondere als Rohstoffmischung zum Sintern eines Sinterkörpers, bei dem in einer Gasphase eine Mischung von gasförmigen Prekursoren erzeugt wird, wobei die Prekursoren wenigstens eine gasförmige Halbleiterverbindung und wenigstens eine gasförmige Metallverbindung umfassen und in der Gasphase eine die Nanopartikel (5, 6) der Mischung erzeugende Reaktion der gemischten Prekursoren initiiert wird und unmittelbar die Mischung der Nanopartikel (5, 6) aus der Gasphase abgeschieden wird. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Düsenanordnung zur Erzeugung einer Mischung von Nanopartikeln.