| 摘要 |
본 발명은 할바흐 배열을 이용한 입자빔의 스캐닝장치에 관한 것으로서, 가속기에서 조사된 입자빔의 이동 경로 상에 배치되어 상기 입자빔이 표적에 미리 설정된 패턴으로 분포되게 스캐닝하는 입자빔의 스캐닝장치로서, 상기 입자빔이 통과할 수 있게 중앙에 입자빔통과공이 구비되고, 각각의 방향으로 착자된 자극을 구비하여 상기 입자빔통과공의 둘레에 할바흐 배열(Halbach dipole array)을 이루게 배치되는 복수의 영구자석을 구비한 영구자석조립체;를 포함하고, 상기 영구자석조립체는 상기 입자빔이 상기 표적에 원주방향을 따라 분포될 수 있게 회전 가능하게 구성된다. 이에 의해, 전자석의 사용을 배제할 수 있고 소형화가 가능하며 비용을 저감할 수 있다. |
