| 摘要 |
입사하는 방사선 빔(2)을 수용하고, 타겟에 반사된 방사선 빔을 지향하는 패싯 반사기(32, 32")가 개시된다. 패싯 반사기는 복수의 패싯들을 포함하고, 복수의 패싯들 각각은 반사 표면을 포함한다. 복수의 패싯들의 제 1 서브세트의 각각의 반사 표면들은 제 1 연속 표면의 각 부분들을 정의하고, 제 1 방향으로 입사하는 방사선 빔의 각 제 1 부분들을 반사하여 반사된 방사선 빔의 제 1 부분을 제공하도록 배치된다. 복수의 패싯들의 제 2 서브세트의 각각의 반사 표면들은 제 2 연속 표면의 각 부분들을 정의하고, 제 2 방향으로 입사하는 방사선 빔의 각 제 2 부분들을 반사하여 반사된 방사선 빔의 제 2 부분을 제공하도록 배치된다. |
