多点扫描收集光学器件

摘要

本发明揭示用于检验或测量样品的设备及方法。一种系统包括照明通道，所述照明通道用于产生多个入射光束且使所述多个入射光束偏转以形成多个光点，所述多个光点跨越由所述样品的多个扫描部分组成的经分段线进行扫描。所述系统还包含一或多个检测通道，所述一或多个检测通道用于感测响应于朝向样品引导的所述入射光束而从此样品发出的光，且在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时收集每一扫描部分的所检测图像。所述一或多个检测通道包含至少一个纵向侧通道，所述至少一个纵向侧通道用于在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时纵向地收集每一扫描部分的所检测图像。

主权项

一种用于检验或测量样品的系统，其包括：照明通道，其用于产生多个入射光束且使所述多个入射光束进行扫描以形成多个光点，所述多个光点跨越由所述样品的多个扫描部分组成的经分段线进行扫描；及一或多个检测通道，其用于感测响应于朝向样品引导的所述入射光束而从此样品发出的光，且在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时收集每一扫描部分的所检测图像，其中所述一或多个检测通道包含至少一个纵向侧通道，所述至少一个纵向侧通道用于在使每一入射光束的光点在其扫描部分上方进行扫描时纵向地收集每一扫描部分的所检测图像。