| 发明名称 | 一种抗静电的透明隔热ATO涂层的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种抗静电的透明隔热ATO涂层的制备方法：包括1)清洗衬底基片；2)溅射镀膜。采用本发明的一种抗静电的透明隔热ATO涂层的制备方法制备的ATO涂层克服了传统湿法制备工艺的诸多不足，具有高透过率、高反射性、高硬度、低电阻、抗静电，耐候性好、隔热性好的特点，且制备方法的工艺重复稳定性好、生产效率高、节能环保，易于大规模工业生产。 | ||
| 申请公布号 | CN105970154A | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
| 申请号 | CN201610344933.1 | 申请日期 | 2016.05.23 |
| 申请人 | 深圳市众诚达应用材料科技有限公司;杭州朗旭新材料科技有限公司 | 发明人 | 黄勇彪;籍龙占;林文宝;刘海燕;涂代旺;郑林芬;谢丑相;王国昌 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 汤东凤 |
| 主权项 | 一种抗静电的透明隔热ATO涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)清洗衬底基片：将衬底基片使用超声波清洗机进行超声清洗后吹干，得到洁净衬底基片；2)溅射镀膜：将洁净衬底基片置于真空室并抽真空，用RF电源对ATO陶瓷靶进行溅射，使洁净衬底基片上附着有ATO涂层沉积。 | ||
| 地址 | 518106 广东省深圳市光明新区公明街道上村社区莲塘工业城C区39栋一楼 | ||