物理量检测器的制造方法、物理量检测器

摘要

本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。

主权项

一种物理量检测器的制造方法，其特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部；平板状的可动部，其被配置于该基座部的内侧，且一个端部经由连接部而与所述基座部相连接；物理量检测元件，其跨越所述连接部而被架设于所述基座部和所述可动部上，所述物理量检测器的制造方法包括：由水晶、玻璃、或硅的任一种材料以一体的方式形成所述基座部、所述连接部、所述可动部以及连结部的工序，其中，所述连结部被设置在该可动部的、作为自由端的另一个端部侧，所述连结部连接所述基座部与所述可动部，并且在俯视观察时，所述连结部具有除去部和在所述除去部的所述基座部侧以及所述可动部侧的缩颈部；将所述物理量检测元件架设并固定在所述基座部与所述可动部上的工序；将所述连结部的所述除去部按压并挠曲而切断的工序。