散射计量装置及其计量方法

摘要

一种散射计量装置及其计量方法，所述散射计量装置及其计量方法包括照明光源系统，该系统在投射系统的瞳面形成1维线形照明光斑；投射系统，将所述照明光斑上的每一点以不同的角度投射到被测对象形成测量光；所述测量光斑经被测对象反射后通过所述投射系统，并在其瞳面形成1维线形反射光斑；分光单元，将反射光斑沿与其线形方向成一夹角的方向分离波长，形成二维散射光普；二维阵列探测器，接收所述二维散射光谱，通过逆向求解法，根据所述二维散射光谱分析获得所述被测对象的形貌。所述散射计量装置及其计量方法能以更快地速度测得对于被测对象敏感的散射光信息，从而提高散射计量的速度。

主权项

一种散射计量装置，其特征在于，包括：光源系统，发出一组线形排列的平行入射光，所述光源系统包括光源和光源整形系统，所述光源为宽光谱光源，产生二维面形光，所述二维面形光通过光源整形系统形成所述平行入射光；投射系统，将所述平行入射光的每一束光以不同的入射角入射到被测对象形成测量光斑，所述测量光斑经过被测对象反射后通过所述投射系统形成一组线形排列的平行测量光；分光单元，将所述平行测量光沿与其线性排列方向成一夹角的方向分离波长，形成二维散射光谱，其中，所述二维散射光谱中的一维显示光谱特征，另一维显示角分辨特征；二维阵列探测器，接收所述二维散射光谱。