一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法

摘要

本发明涉及一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法。其特点是，包括如下步骤：（1）将21片石墨舟送进炉管；（2）抽真空，时间3600s；（3）通入氨气，温度控制在425℃，放电功率7200w，持续240秒；（4）抽真空，通入氮气7500sccm，时间20秒，再抽真空，重复两次后恢复；（5）抽真空，通入氨气7500sccm，温度控制在420‑430℃，预沉积120秒，再通入硅烷，持续放电9000‑10000秒；（6）停止通气，抽真空，至压力达到35毫托时，通入氮气6000sccm，再抽真空，重复两次后恢复；（7）卸料即可。采用本发明的方法后，可以避免石墨舟饱和不充分，导致工艺过程中产生色差片的缺陷。

主权项

一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将21片石墨舟送进炉管；（2）抽真空，时间3600s；（3）通入氨气，使炉管内压力达到1700毫托，温度控制在425℃，放电功率7200w，持续240秒；（4）抽真空，至压力达到35毫托时，通入氮气7500sccm，时间20秒，再抽真空，重复两次后恢复常压；（5）抽真空，至压力达到35毫托时，通入氨气7500sccm，使得炉管内压力达到1600毫托‑1800毫托，温度控制在420‑430℃，预沉积120秒，再通入硅烷，硅烷流量控制在800sccm‑900sccm，至压力稳定在1600毫托‑1800毫托，持续放电9000‑10000秒；（6）停止通气，抽真空，至压力达到35毫托时，通入氮气6000sccm，时间20秒，再抽真空，重复两次后恢复常压；（7）卸料即可；步骤（5）中硅烷氨气比为800:7500；步骤（5）中放电功率调整到7200w，脉冲开关比例调整为3:45‑48。