发明名称 用于铟氧化物层的蚀刻剂组合物、阵列基板制作方法、用于液晶显示装置的阵列基板和导线
摘要 本发明涉及用于铟氧化物层的蚀刻剂组合物,并更具体地涉及包括以下化合物的用于铟氧化物层的蚀刻剂组合物:硝酸和/或亚硝酸、氯化合物、硫酸盐、环胺化合物、磷酸盐和水;制作用于液晶显示装置的阵列基板的方法;用于液晶显示装置的阵列基板;和导线。
申请公布号 CN105969360A 申请公布日期 2016.09.28
申请号 CN201610119104.3 申请日期 2016.03.02
申请人 东友精细化工有限公司 发明人 沈庆辅;李昔准;张晌勋
分类号 C09K13/06(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I 主分类号 C09K13/06(2006.01)I
代理机构 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 代理人 钟锦舜
主权项 用于铟氧化物层的蚀刻剂组合物,其包括:相对于所述组合物的总重量,2重量%‑10重量%的选自硝酸和亚硝酸中的一种或多种酸(A);0.1重量%‑5重量%的氯化合物(B);0.1重量%‑5重量%的硫酸盐(C);0.1重量%‑5重量%的环胺化合物(D);0.1重量%‑5重量%的磷酸盐(E);和余量的水(F)。
地址 韩国全罗北道
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