发明名称 |
光学材料损耗的测量装置和测量方法 |
摘要 |
一种光学材料损耗的测量装置和测量方法,本发明通过测量仅厚度不同的样品组在同一入射角下的透过率差异来去除表面损耗的影响,从而获得样品的材料损耗。测量时通过消除光束偏移和表面缺陷影响提高测量精度。通过增加样品的组数,提高整体损耗量,同时利用锁相放大技术抑制噪声,提高信噪比,从而进一步提高材料损耗的测量精度。本发明装置和方法具有结构简易、调整方便和精度较高的特点。 |
申请公布号 |
CN105973849A |
申请公布日期 |
2016.09.28 |
申请号 |
CN201610529562.4 |
申请日期 |
2016.07.07 |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 |
发明人 |
贺洪波;曹珍;胡国行;赵元安;王岳亮;彭小聪 |
分类号 |
G01N21/59(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/59(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
张泽纯;张宁展 |
主权项 |
一种光学材料损耗的测量装置,特征在于其构成包括:固体激光器(1),沿该固体激光器(1)的激光输出方向依次是斩波器(2)和分束器(3),所述的分束器(3)将固体激光器(1)发出的激光光束,分成测量光束和参考光束,在所述的测量光束方向依次是第一光学平台(4)和第一光电探测器(5),在参考光束方向设置第二光电探测器(6),所述的第一光电探测器(5)的输出端、第二光电探测器(6)的输出端和所述的斩波器(2)的输出端与锁相放大器(7)输入端相连;该锁相放大器(7)的输出端经数据采集卡(8)与计算机(13)的输入端相连;He‑Ne激光器(9)的输出激光光束与所述的测量光束重合;在第二光学平台(11)上设置CCD探测器(10);该CCD探测器(10)的输出端经图像采集卡(12)与计算机(13)的输入端相连。 |
地址 |
201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱 |