用于制造生物传感器的微阱的方法

摘要

本发明实施例提供了一种生物感测半导体结构。晶体管包括沟道区和位于沟道区下面的栅极。第一介电层位于晶体管上面。第一开口延伸穿过第一介电层以暴露沟道区。生物感测层作为第一开口的衬垫并且覆盖沟道区的上表面。第二介电层作为第一开口的衬垫并且位于感测层上方。位于第一开口内的第二开口穿过第二介电层的位于沟道区上面的区域而延伸至生物感测层。本发明实施例也提供了一种用于制造生物感测半导体结构的方法。本发明实施例涉及用于制造生物传感器的微阱的方法。

主权项

一种生物感测半导体结构，包括：晶体管，包括沟道区和位于所述沟道区下面的栅极；第一介电层，位于所述晶体管上面；第一开口，延伸穿过所述第一介电层以暴露所述沟道区；生物感测层，作为所述第一开口的衬垫并且覆盖所述沟道区的上表面；第二介电层，作为所述第一开口的衬垫并且位于所述生物感测层上方；以及第二开口，位于所述第一开口内并且穿过所述第二介电层的位于所述沟道区上面的区域而延伸至所述生物感测层。