蚀刻装置

摘要

本发明提供一种蚀刻装置。所述蚀刻装置包括蚀刻槽及用于清洗所述蚀刻槽的清洗装置，所述蚀刻槽包括底壁及自所述底壁延伸的侧壁，所述底壁与所述侧壁围设形成收容空间，所述清洗装置包括盘管、间隔设置于所述盘管上的多个喷嘴、与所述盘管连通的进液管及固定于所述侧壁的卡座，所述盘管收容于所述收容空间内且环绕所述侧壁设置，外部清洗液通过所述盘管导入经所述喷嘴喷出以喷淋所述蚀刻槽，且所述喷嘴朝向所述侧壁喷淋以在所述侧壁上形成喷淋区域，所述盘管通过所述卡座固定于所述侧壁。与相关技术相比，本发明的蚀刻装置具有结构简单、稼动率高、清洗效果好且不会产生二次污染的优点。

主权项

一种蚀刻装置，其特征在于，包括蚀刻槽及用于清洗所述蚀刻槽的清洗装置，所述蚀刻槽包括底壁及自所述底壁延伸的侧壁，所述底壁与所述侧壁围设形成收容空间，所述清洗装置包括盘管、间隔设置于所述盘管上的多个喷嘴、与所述盘管连通的进液管及固定于所述侧壁的卡座，所述盘管收容于所述收容空间内且环绕所述侧壁设置，外部清洗液通过所述盘管导入经所述喷嘴喷出以喷淋所述蚀刻槽，且所述喷嘴朝向所述侧壁喷淋以在所述侧壁上形成喷淋区域，所述盘管通过所述卡座固定于所述侧壁。