基于周期啁啾光栅的太赫兹人工双折射器件

摘要

本发明公开了一种基于周期啁啾光栅的太赫兹人工双折射器件。本发明利用在高阻硅片表面刻蚀亚毫米尺度的浮雕光栅结构，形成人工双折射效应，以实现太赫兹波相移和偏振态转换的功能。该器件采用特殊的周期啁啾结构，既保留了光栅的周期性又引入了啁啾结构，与普通周期光栅相比提高了器件的双折射系数和双折射带宽，在太赫兹波段实现了大于0.35的高双折射系数、宽带的双折射平坦和良好的线性相移特性，最大相移系数达到作为1/2波片时偏振转化率超过99％。相比于金属光栅和金属超表面结构，该器件采用全介质材料，大大提高了器件的透过率，是一种低损耗、宽带太赫兹人工高双折射器件，可广泛用于太赫兹波相位和偏振调控。

主权项

一种基于周期啁啾光栅的太赫兹人工双折射器件，其特征在于包括高阻硅片基底(1)、硅基底上交替排列的栅脊(2)和栅槽(3)，一对栅脊(2)和栅槽(3)组成一个栅格(4)，由不少于5个宽度渐变的栅格依次排列组成一个啁啾栅格组(5)，不少于5个相同的啁啾栅格组周期性排列组成太赫兹周期啁啾光栅。