陶瓷环安装和取出工装

摘要

陶瓷环安装和取出工装，主要应用于半导体镀膜设备反应腔中陶瓷环的安装和取出。该工装包括制有弧面的工装支架。所述工装支架的前端制有台阶孔，弹簧放置在台阶孔大直径的孔内；所述定位柱与钢丝线相连，将钢丝线穿过工装支架的台阶孔，并使定位柱穿入弹簧进入工装支架的台阶孔内，将定位柱与钢丝线分别固定好后，再将钢丝线统一与连接柱相连，连接柱与握把连接并固定；所述握把嵌入工装支架后部的方槽中。当拉伸握把时，连接柱与钢丝线带动定位柱向内收缩，将工装对准陶瓷件的抽气孔，放开握把后定位柱在弹簧的作用下伸入陶瓷环抽气孔内与孔咬合，此时双手平端工装支架将陶瓷环从腔体内取出。本发明适用于多种规格的陶瓷环，操作简单，拆卸方便，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

主权项

一种陶瓷环安装和取出工装，包括制有弧面的工装支架，其特征在于：它还包括定位柱、握把、钢丝线、连接柱及弹簧，上述工装支架的前端制有台阶孔，弹簧放置在台阶孔大直径的孔内；上述定位柱与钢丝线相连，将钢丝线穿过工装支架的台阶孔，并使定位柱穿入弹簧进入工装支架的台阶孔内，将若干个定位柱与钢丝线分别固定好后，再将钢丝线统一与连接柱相连，连接柱与握把连接并固定，上述握把嵌入工装支架后部的方槽中。