多工位集中供真空的防干扰方法及多工位集中供真空系统

摘要

本发明公开一种多工位集中供真空的防干扰方法及多工位集中供真空系统，通过真空发生装置的若干真空管道分别与若干工位加工装置相应连接，用于对相应的工位加工装置抽真空；在真空管道上设置真空控制阀；通过在工位加工装置上设置检测装置，用于检测工位加工装置对待加工件的加工是否达到预定值；通过设置执行单元，用于在检测装置检测到工位加工装置对待加工件的加工未达到预定值时控制真空控制阀关闭对该工位加工装置的抽真空，从而避免了相应工位加工装置的真空泄露，进而避免了对其它的工位加工装置的真空度的影响。

主权项

一种多工位集中供真空的防干扰方法，其特征在于，通过真空发生装置的若干真空管道分别与若干工位加工装置相应连接，用于对相应的工位加工装置抽真空；在真空管道上设置真空控制阀；通过在工位加工装置上设置检测装置，用于检测工位加工装置对待加工件的加工是否达到预定值；通过设置执行单元，用于在检测装置检测到工位加工装置对待加工件的加工未达到预定值时控制真空控制阀关闭对该工位加工装置的抽真空。