高速光学相干层析成像系统

摘要

本实用新型提供了一种高速光学相干层析成像系统，通过在光学相干层析成像系统的样品臂增设第一光纤耦合器和光纤阵列来将对样品的探测光束分割为多束子探测光束，并在各子探测光路中加入光学延迟线，使各子探测光束产生不同的光程/相位延迟，从而对各子探测光束的成像信号进行区分，实现样品表面多点同时采样，信号同时检测，高速成像的目的。

主权项

高速光学相干层析成像系统，包括光束发生装置：生成探测光束和与探测光束相干的基准光束；样品臂：使得探测光束扫描到待探测样品上，探测光束经样品反射产生样品光束；光检测装置：令样品光束与样品光束相互干涉以生成干涉光，并对所述干涉光进行检测；其特征在于：所述样品臂还将探测光束分为至少两束子探测光束，各束子探测光束经过时长/相位不一的延迟后对待探测样品进行扫描。