发明名称 一种蚀刻机的清洗装置
摘要 一种蚀刻机的清洗装置,包括清洗机箱、清洗区、输送带、清洗装置、清洗液回收槽,所述清洗机箱内设置有清洗区,所述输送带贯穿在清洗区内,所述清洗区上方的清洗机箱上设置有清洗装置,所述清洗机箱下端设置有清洗液回收槽,所述清洗液回收槽与排出管道连接。通过在清洗区上方安装清洗装置,清洗装置通过若干个清洗喷头对输送滚筒上的蚀刻工件进行清洗,在输送过程中实现清洗,进一步提高了清洗效率,而且清洗液通过回收槽进行回收处理,在减少人工成本的同时也提高了生产效率,清洗均匀,并且通过调节输送滚筒的传输速度,从而控制清洗速度。
申请公布号 CN205599566U 申请公布日期 2016.09.28
申请号 CN201521108518.3 申请日期 2015.12.29
申请人 珠海蓝冠电子科技有限公司 发明人 王超;陈文化
分类号 B08B3/02(2006.01)I;C23F1/08(2006.01)I 主分类号 B08B3/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种蚀刻机的清洗装置,包括清洗机箱、清洗区、输送带、清洗装置、清洗液回收槽,其特征在于:所述清洗机箱内设置有清洗区,所述输送带贯穿在清洗区内,所述清洗区上方设置有清洗装置,所述清洗机箱下端设置有清洗液回收槽,所述清洗液回收槽与排出管道连接,所述清洗装置包括若干个设置在清洗机箱顶板上的清洗喷头以及与所述清洗喷头连接的清洗管道,所述输送带包括若干条输送滚筒以及用于驱动输送滚筒旋转的伺服电机,所述清洗机箱一侧设置有进料带,所述进料带包括若干个进料滚筒,所述清洗机箱另一侧设置有出料带,所述出料带包括若干个出料滚筒。
地址 519100 广东省珠海市斗门区新青三路南3号