发明名称 | 检测装置及方法 | ||
摘要 | 本发明公开一种检测装置及方法,所述检测装置包含︰一光源、一滤光片、至少一网罩、一分光镜以及一影像撷取单元。所述光源提供一光线;所述滤光片设置在所述光源前方,以对所述光线进行滤光;所述至少一网罩设置在所述滤光片前方,并具有数个规则排列的网孔,所述滤光后的光线通过所述网孔成为一网状光;所述分光镜倾斜设置于所述网罩前方,以将所述网状光反射投射至一待测表面;所述影像撷取单元设置于所述分光镜上方,以撷取由所述待测表面反射且穿过所述分光镜的一反射影像,以供判断所述待测表面上是否具有一缺陷。 | ||
申请公布号 | CN103177983B | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
申请号 | CN201310065100.8 | 申请日期 | 2013.03.01 |
申请人 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 发明人 | 陈轩旋;杨仲琦;郑端佑 |
分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 林斯凯 |
主权项 | 一种检测装置,其特征在于:所述检测装置包含:一光源,提供一光线;一滤光片,设置在所述光源前方,以对所述光线进行滤光;至少一网罩,设置在所述滤光片前方,并具有一不透光板体及数个网孔,所述网孔规则排列于所述不透光板体上,所述滤光后的光线通过所述网孔成为一网状光;一分光镜,倾斜设置于所述网罩前方,以将所述网状光反射投射至设置于所述分光镜下方的一待测表面;以及一影像撷取单元,设置于所述分光镜上方,以撷取由所述待测表面反射且穿过所述分光镜的一反射影像,以供判断所述待测表面上是否具有一缺陷,其中所述分光镜、所述影像撷取单元及所述待测表面共同构成一同轴光的光学路径。 | ||
地址 | 中国台湾高雄巿楠梓加工区经三路26号 |