碳化硅衬底、半导体器件及其制造方法

摘要

一种碳化硅衬底(1)具有第一主面(1A)和面对第一主面(1A)的第二主面(1B)。包含第一主面(1A)和第二主面(1B)中的至少一个的区域包括单晶碳化硅。在该主面中的一个上，硫原子以60×10¹⁰原子/cm²到2000×10¹⁰原子/cm²的范围存在，作为杂质的碳原子以3at％到25at％的范围存在。由此，可以提供具有稳定表面的碳化硅衬底、使用该碳化硅衬底的半导体器件及其制造方法。

主权项

一种碳化硅衬底，包括：第一主表面；以及第二主表面，所述第二主表面与所述第一主表面相反，包括所述第一主表面和所述第二主表面中的至少一个主表面的区域由单晶碳化硅制成，硫原子以不小于60×10¹⁰原子/cm²且不大于2000×10¹⁰原子/cm²存在于所述一个主表面中，并且作为杂质的碳原子以不小于3at％且不大于25at％存在于所述一个主表面中，其中，氯原子以不大于3000×10¹⁰原子/cm²存在于所述一个主表面中。