一种用于电沉积的搅拌机构

摘要

本实用新型专利公开了一种用于电沉积的搅拌机构，包括电沉积槽、阴极、阴极移动机构和搅拌机构；所述的搅拌机构包括近阴极搅拌桨、远阴极搅拌桨、近阴极悬挂梁、远阴极悬挂梁和限位座。搅拌机构工作时，水平往复移动梁带动与近阴极悬挂梁和远阴极悬挂梁分别联接的近阴极搅拌桨和远阴极搅拌桨作同步水平往复移动，通过机构中的近阴极搅拌桨和远阴极搅拌桨的双重作用，能使阴极面附近和整个沉积槽中的电解液获得高强度均匀的搅拌效果。此装置极大地改善了沉积层厚度分布均匀性，且结构简单、成本低廉。

主权项

一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：它包括水平往复移动梁（1）、近阴极悬挂梁（3）、近阴极搅拌桨（5）、远阴极悬挂梁（8）、远阴极搅拌桨（7）和限位座（4）；所述的水平往复移动梁（1）设置在电沉积槽（2）上，所述的近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）均设置在水平往复移动梁（1）上；所述的近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）相对于水平往复移动梁（1）的距离均可调；所述的限位座（4）可滑动地设置在近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）的下端；所述的近阴极搅拌桨（5）可转动地设置在近阴极悬挂梁（3）下端的限位座（4）上；所述的远阴极搅拌桨（7）设置在远阴极悬挂梁（8）下端的限位座（4）上。