一种真空检测保护装置

摘要

本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，旨在提供一种真空检测保护装置。该种真空检测保护装置包括触动开关和金属波纹管，触动开关和单晶炉的开路控制线路或者控制器连接，金属波纹管的一侧安装在副真空系统的压力检测口上，副真空系统与单晶炉的炉室相通，金属波纹管的另一侧用于和触动开关接触连通，且保证：当单晶炉内的压力为正常状态时，金属波纹管端面与触动开关接触并触发触动开关；当单晶炉内的压力为负压状态时，金属波纹管压缩，进而金属波纹管端面与触动开关脱离接触。本发明触发方式为机械式触发电子元器件，安全系数高，使用寿命长，结构简单，能够在低成本的情况下实现最理想的功能。

主权项

一种真空检测保护装置，用于监控单晶炉内的压力大小，其特征在于，包括触动开关和金属波纹管，触动开关和单晶炉的开路控制线路或者控制器连接；金属波纹管的一侧安装在副真空系统的压力检测口上，副真空系统与单晶炉的炉室相通，金属波纹管的另一侧用于和触动开关接触连通，且保证：当单晶炉内的压力为正常状态时，金属波纹管端面与触动开关接触并触发触动开关；当单晶炉内的压力为负压状态时，金属波纹管压缩，进而金属波纹管端面与触动开关脱离接触；金属波纹管和触动开关接触连通，能产生检测信号，检测信号串入开炉控制线路或接入控制器中时，能通过开路控制线路或控制器对单晶炉进行操作；金属波纹管和触动开关脱离接触，没有检测信号串入开炉控制线路或接入控制器中时，不能通过开路控制线路或控制器对单晶炉进行操作。