发明名称 |
一种基于聚甲基苯基硅烷/聚甲基丙烯酸苄酯共聚物光波导的微反射镜制作方法 |
摘要 |
本发明涉及一种基于聚甲基苯基硅烷/聚甲基丙烯基苄酯共聚物光波导的微反射镜的制作方法,其先在基板表面镀上铜膜,然后在铜膜表面形成SU‑8胶下包层,在SU‑8胶下包层上形成聚甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层后,经紫外曝光形成光波导芯层结构,再在芯层上形成SU‑8胶上包层,使用90度V形倒角的金刚石砂轮刀片沿垂直于光波导的方向切割,在光波导的端面形成45°微反射镜结构,最后通过腐蚀液将微反射镜下的铜膜腐蚀后,得到剥离下的微反射镜;整个工艺过程简单、可控,制得的微反射镜具有较低的反射损耗。 |
申请公布号 |
CN105974744A |
申请公布日期 |
2016.09.28 |
申请号 |
CN201610351208.7 |
申请日期 |
2016.05.25 |
申请人 |
淮阴工学院 |
发明人 |
何磊;黄秋月;朱秀芳 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种基于聚甲基苯基硅烷/聚甲基丙烯基苄酯共聚物光波导的微反射镜的制作方法,其特征在于以下步骤:(1) 选取表面为光学水平面的耐腐蚀基板,清洗,在100℃以上加热烘干,除去表面水分;(2) 在基板的一侧表面上镀上一层铜膜;(3) 在铜膜表面旋涂SU‑8胶,经前烘、360nm以上波长紫外光曝光和后烘处理后,形成化学和热稳定的SU‑8胶下包层;(4) 在SU‑8胶下包层表面旋涂聚甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层,加热蒸除溶剂;(5) 在聚甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层上覆盖遮光板,经紫外光曝光,形成光波导芯层结构;(6) 在曝光后的甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层表面旋涂SU‑8胶,经前烘、360nm以上波长紫外光曝光和后烘处理后,形成化学和热稳定的SU‑8胶上包层;(7) 在垂直于光波导的方向,使用装配有90度V形倒角金刚石砂轮刀片的划片机切割光波导,在光波导的端面形成45°微反射镜结构;(8) 将微反射镜下的铜膜通过三氯化铁腐蚀液腐蚀、去除,将微反射镜从基板表面剥离。 |
地址 |
223003 江苏省淮安市高教园区枚乘东路1号 |