| 发明名称 | 光罩及彩膜基板的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光罩及彩膜基板的制作方法。该光罩的透光区分为主透光区和副透光区，其中主透光区完全透光，副透光区部分透光，副透光区包围主透光区，副透光区包括：由内向外依次包围的多个不透光的遮光框，相邻的两个遮光框之间形成有透光的狭缝。本发明还提供了彩膜基板的制作方法。本发明的光罩及彩膜基板的制作方法可以通过调整副透光区中狭缝的宽度、数量、以及相邻两狭缝之间的间距来调整照射到副透光区上光线的干涉程度，从而控制对应于副透光区位置的色阻材料的曝光程度，制作出无重叠、关键尺寸偏移量小、牛角小、锥度角大、且膜面平整性好的色阻层。 | ||
| 申请公布号 | CN105974728A | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
| 申请号 | CN201610494255.7 | 申请日期 | 2016.06.29 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 贾迎宾;黄长治;沈嘉文;贾森 |
| 分类号 | G03F1/36(2012.01)I;G02F1/1335(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/36(2012.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种光罩，其特征在于，包括：透光区(10)、及包围所述透光区(10)的遮光区(20)；所述透光区(10)包括：完全透光的主透光区(11)、以及包围所述主透光区(11)的部分透光的副透光区(12)；所述副透光区(12)包括由内向外依次包围的多个不透光的遮光框(121)，相邻的两个遮光框(121)之间形成有透光的狭缝(122)。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||