发明名称 |
一种采用周期升降法生长蓝宝石单晶的方法 |
摘要 |
一种采用周期升降法生长蓝宝石单晶的方法,其主要是:在5.0×10<sup>‑2</sup>Pa真空下融化三氧化二铝,再降低加热功率,直至熔体液面呈现稳定慢速移动的波纹;再下降籽晶,试探到液面后,开始做周期性升降运动,当观察到籽晶下端出现单晶,引晶完成;调整周期性运动的速度和位移范围,同时缓慢降低加热功率,使晶体重量不断缓慢增加;当晶体直径达到220~260mm时进入转肩阶段;然后使单晶的生长过程进入等径生长阶段;在60小时内均匀地将位移范围降至最低值,将周期性运动的速度也降至最低值,将旋转速度降为零。最后晶体重量不再增加了,即告生长过程结束。本发明制备成功率高、产品质量稳定且能直接生长C向蓝宝石单晶。 |
申请公布号 |
CN105970292A |
申请公布日期 |
2016.09.28 |
申请号 |
CN201610454288.9 |
申请日期 |
2016.06.22 |
申请人 |
大连晶达德光电技术有限公司 |
发明人 |
裴智;李希炜;李欣;裴广波 |
分类号 |
C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/20(2006.01)I |
代理机构 |
大连一通专利代理事务所(普通合伙) 21233 |
代理人 |
王丽英 |
主权项 |
一种采用周期升降法生长蓝宝石单晶的方法,其特征在于:1)融化原料:采用蓝宝石晶体生长炉将原料三氧化二铝装入炉内的纯钨坩埚中,抽真空至5.0×10<sup>‑2</sup>Pa以下,开启电源并升高电炉的加热功率,加热原料使之全部融化;2)洗晶:以4~6kW/h速率降低加热功率,并稳定3~5小时,直至熔体液面呈现稳定慢速移动的波纹;再以50~70mm/h的速度下降籽晶,试探到液面后,开始做周期性升降运动,周期性运动的速度在60~180mm/min和位移范围30~40mm,籽晶浸入熔体5~15mm,同时旋转籽晶5~15r/min,周期运动次数在3~9次范围内;3)引晶:继续进行周期性运动,周期运动次数在30~50次范围内,即可观察到籽晶下端出现单晶,引晶完成;4)生长:继续进行周期性运动,根据晶体生长情况,调整周期性运动的速度在60~180mm/min和位移范围10~40mm,同时以10~50W/h的速率缓慢降低加热功率,使晶体重量不断缓慢增加;5)放肩:将籽晶周期性运动位移量从上限值逐步向下限值降低,当晶体直径达到220~260mm时进入转肩阶段;6)转肩:在该阶段籽晶周期性运动位移范围比放肩阶段还要低,旋转速度也从上限值逐步向下限值降低,使单晶的生长过程进入等径生长阶段;7)等径生长:在60小时内均匀地将位移范围降至最低值10~30mm,将周期性运动的速度也降至最低值60~140mm/min,将旋转速度降为零,最后晶体重量不再增加了,即告生长过程结束。 |
地址 |
116000 辽宁省大连市旅顺口区顺康街97号 |