| 发明名称 | 制造光波导的方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的是通过使芯部的表面平滑来制造具有低的光损耗的光波导。为此，一种制造光波导的方法包括：在形成在基材(1)上的下覆层(2)的表面上形成光敏聚合物的芯部形成层(3)的芯部形成层形成步骤；通过对芯部形成层(3)的热处理降低芯部形成层(3)的表面粘度来使表面平滑的平滑步骤；和经过对被平滑的芯部形成层(3)的选择曝光来形成芯部的曝光步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN102016666B | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
| 申请号 | CN200980114712.3 | 申请日期 | 2009.04.20 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 中芝徹;桥本真治;近藤直幸 |
| 分类号 | G02B6/138(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/138(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 吕静姝;杨暄 |
| 主权项 | 一种制造光波导的方法，其特征在于，所述方法包括：在形成在基材上的下覆层上形成光敏聚合物的芯部形成层的芯部形成层形成步骤；通过对所述芯部形成层的热处理降低所述芯部形成层的表面粘度以使得光敏聚合物的粘度为5到10000Pa·sec，从而使所述芯部形成层的所述表面平滑的平滑步骤；和经过从平滑的所述芯部形成层的所述表面对所述芯部形成层进行选择曝光来形成芯部的曝光步骤。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府门真市大字门真1006番地 | ||