用于制造图案化层的制造设备和方法以及电学器件

摘要

本发明涉及一种用于在衬底（14）上制造图案化层（18）的制造设备。在衬底（14）上的第二区域中应用保护材料（17）并且然后将液体层材料（18）印刷在衬底（14）上的与第二区域不同的第一区域中。在通过使用比保护材料（17）的熔化温度高的去除温度从衬底（14）去除保护材料（17）之前，通过将层材料（18）加热到比保护材料（17）的熔化温度的干燥温度来干燥层材料（18）。因此可以在不使用例如昂贵光刻工艺的情况下生产图案化层（18），并且由于保护材料（17）的使用，层材料（18）仅存在于期望的第一区域中而不存在于第二区域中。这改善了图案化层的质量，该图案化层可以用于生产OLED。

主权项

一种用于在涂敷有导电层（16）的衬底（14）上制造图案化的导电层的制造设备（1），其中所述衬底包括第一区域和第二区域，形成所述图案化的导电层的层材料将应用在所述第一区域中，所述层材料将不应用在所述第二区域中，所述制造设备包括：‑ 保护材料应用单元（3），其用于在所述衬底上的第二区域中应用保护材料（17），‑ 层材料应用单元（4），其用于在所述衬底上的第一区域中印刷液体层材料（18），‑ 干燥单元（5），其用于通过将所述层材料（18）加热到比所述保护材料（17）的熔化温度低的干燥温度来干燥所述层材料（18），‑ 消融单元（6），其用于穿过所述保护材料和所述层材料的至少其一来消融所述导电层以产生图案化的导电层，以及‑ 保护材料去除单元（7），其用于通过使用比所述保护材料（17）的熔化温度高的去除温度从所述衬底去除所述保护材料（17）。