一种生产一氧化硅的卧式真空炉

摘要

一种生产一氧化硅的卧式真空炉，属于真空设备制造技术领域。卧式真空炉是分体式的，分体的部位在以加热侧外侧为起点，分体的部位占总长度的50％－85％。卧式真空炉加热体系采用钼、钨或者钼钨合金发热原件作为发热体；优先采用钼金属作为发热体，但不排除使用其它金属体作为发热体。卧式真空炉盛放原料坩埚的材质为氧化铝、钼或者钨，优先采用钼坩埚作为盛放原料的容器，但不排除使用其它坩埚。本实用新型单炉生产产量高，质量稳定，能满足工业生产的大量需求。升温速度快，可以人为设定，生产周期短，节约资源降低能耗，满足国家节能减排的要求。降低生产成本，因产量高，质量稳定，生产周期较短，综合生产成本明显下降。

主权项

一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于炉体的一侧连接前炉盖，炉体的另一侧连接后炉盖，炉体的内腔体有炉体分离部位，炉体分离部位的一侧连接成品料收集器，成品料收集器的下部由内支撑装置支撑,炉体分离部位的另一侧连接原料反应容器，原料反应容器有真空炉的保温层包裹，原料反应器挡板连接在成品料收集器的一侧，后炉盖连接外接真空装置，炉体的下部连接外支撑装置，外支撑装置连接在支撑上；加热体包裹原料反应容器。