SMIF加载端口下降保护装置及其SMIF装置

摘要

本实用新型提供一种SMIF加载端口下降保护装置及其SMIF装置，所述保护装置包括电磁功能部及用于将扭矩从电机传送到线性驱动螺杆以带动所述加载端口上下运动的皮带轮；其中：所述电磁功能部包括安装底座、连接于所述安装底座上的电磁铁部、位于所述电磁铁部上方的吸合部以及上下贯通所述吸合部并限制所述吸合部最大向上运动距离的限位栓；所述吸合部上表面设有至少3个位于同一圆周上的顶针；所述皮带轮下表面设有与所述顶针数目相同的凹槽，所述凹槽与所述顶针的位置相对应并可以在所述吸合部升起时容纳所述顶针。本实用新型可以有效地防止SMIF加载端口部分因非正常原因导致的自由落体式的下降，避免主机台手臂遭受损伤，并避免晶圆被压碎而报废。

主权项

一种SMIF加载端口下降保护装置，其特征在于，所述保护装置包括电磁功能部及用于将扭矩从电机传送到线性驱动螺杆以带动所述加载端口上下运动的皮带轮；所述电磁功能部包括安装底座、连接于所述安装底座上的电磁铁部、位于所述电磁铁部上方的吸合部以及上下贯通所述吸合部并限制所述吸合部最大向上运动距离的限位栓；其中，所述电磁铁部与所述吸合部之间分布有至少3个处于压缩状态的弹簧；所述吸合部上表面设有至少3个位于同一圆周上的顶针；所述皮带轮下表面设有与所述顶针数目相同的凹槽，所述凹槽与所述顶针的位置相对应并可以在所述吸合部升起时容纳所述顶针。